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与硅片所接触的材料,设备,人员等外界环境都包含有机化合物。在该实例中,一块8英寸硅片被压覆于一块晶片加热板上。晶片表面所产生的挥发性气体可以通过一台GC-MS进行收集和分析。
通常,塑料材质的零配件会检测出包含C12(1-十二碳烯)、环甲基硅氧烷(n=6)和二羧酸酯组分。
气相色谱-质谱联用仪
抖淫的 GC 解决方案包括使您能够成功进行气相色谱分析的气相色谱分析仪、进样器、检测器,色谱柱、自动进样器以及软件。
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